
| Шаг решетки | 20мкм |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Тепловое расширение | 10,6 х 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Разрешение | 0,5-1-5мкм | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Повторяемость | ±1 приращение | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Макс. скорость м/мин | 60(5мкм) ; 20 (1мкм) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Тип выхода | ТТЛ/EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Макс.Ускорение | 20м/с² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Защита | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Источник питания | 60 мА макс. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Фазовый сдвиг | 90°±5°электрический | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Рабочая температура | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Температура хранения | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Влажность | 100% не сгущенный |